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Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme
Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS arbeitet mit 300 Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern an nanoelektronischen, mechanischen und optischen Komponenten und ihrer Integration in winzigste, »intelligente« Bauelemente und Systeme. Wir bieten Ihnen ab sofort eine spannende Aufgabe für die Erstellung einer:

Diplom-/Masterarbeit im Bereich Plasmaätzprozesse

Kennziffer: IPMS-2017-14
Bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen werden Plasmaätzverfahren eingesetzt, die lithografisch vorstrukturierte Resistmasken in unterliegende Schichten übertragen. Ziel eines aktuellen Forschungsprojektes ist es, hochselektive Plasmaätzprozesse für neuartige Schichtstapel zu entwickeln und zu charakterisieren.

Dazu sollen im Rahmen einer Master- bzw. Diplomarbeit folgende Aufgaben gelöst werden:
  • Entwicklung von neuen Ätzprozessen für Nanostrukturen auf 300 mm Wafern
  • Untersuchung des Prozessfensters (Variation Ätzgase, Plasmaleistung, kapazitive Leistung etc.)
  • Vergleich von kontinuierlichen und gepulsten Plasmen
  • Untersuchung der Ätzschädigung an Schichtgrenzen (SiO2/SiON, Bulk Si) mit modernen Analyseverfahren (HR-OES, QMS, TEM etc.) 
  • Erstellung von Zwischenberichten und Präsentation der Forschungsergebnisse

Was Sie mitbringen:


  • Naturwissenschaftliches oder ingenieurtechnisches Studium (Physik, Chemie, Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Verfahrenstechnik oder vergleichbar) mit Bachelorabschluss bzw. Vordiplom
  • Interesse für Halbleitertechnik
  • gute Sprachkenntnisse in Deutsch und Englisch
  • hohes Engagement und eigenverantwortliches Arbeiten
  • Teamfähigkeit und Kommunikationsbereitschaft

Die Durchführung der wissenschaftlichen Arbeit ist im Geschäftsfeld Fraunhofer CNT in Dresden vorgesehen. Die Prüfungsleistung erfolgt über die Anbindung an eine deutsche Fachhochschule bzw. Universität und richtet sich nach dem jeweiligen Landeshochschulgesetz.

Wir bieten Ihnen ein spannendes Thema und individuelle Betreuung bei der Erstellung Ihrer Abschlussarbeit durch erfahrene Mitarbeitende. Auf Sie wartet ein motiviertes und dynamisches Team in einer sehr gut ausgestatteten Forschungs- und Entwicklungslandschaft. Zudem bieten wir Ihnen gute Perspektiven für Ihren anschießenden Karriereweg. Ob Promotion oder der Beginn Ihrer wissenschaftlichen Karriere als Nachwuchswissenschaftlerin bzw. Nachwuchswissenschaftler am IPMS.
Wir unterstützen Sie dabei!

Die Stelle ist auf 6 Monate befristet.

Fragen zu dieser Position beantwortet gerne:
Herr Dr. Benjamin Uhlig
Tel.: 0351/2607-3064

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme
Dresden

http://www.ipms.fraunhofer.de


Erschienen auf academics.de am 01.02.2017
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